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角分辨光谱测量的测试结果能力的分辨
点击次数:582 发布时间:2018/12/19 10:50:37

  角分辨光谱测量的测试结果能力的分辨
  
  角分辨光谱测量仪是用于探测具备“角度依赖(angle-resolved)”特性物体的光学测量仪器。为了验证他的准确性,我们采用标准样品进行检验。

  SiO2镀膜Si基底样品是一种具有典型“角度依赖”反射率特性的样品,可以作为一种常见的标准样品,常常用来检光谱型测椭偏仪的性能。因此,我们采用了单层膜结构的镀膜样品作为验证的标样。
  
  测试结果证明实用R1测试单层膜的P波和S波与理论计算结果吻合。
  
  单层膜样品的光谱反射率理论计算简单,实际测量中,测试系统要求具备宽谱段覆盖范围(紫外到近红外);方便的偏振态控制;背反射(0度角);高精度的角度控制等要求。以往情况,用户需要采用昂贵的光谱型椭偏仪实现,现在可以采用R1可以轻松的实现这些功能。
  
  角分辨光谱测量的典型应用领域:
  
  角分辨光谱测量的样品在不同偏振态具有不同光谱特性,需要光谱测量系统具有各偏振的分辨能力。
  
  薄膜光谱样品具有能带结构,呈现光谱的各向异性,需要光谱测试系统具有精确的角度区分能力。
  
  SPP/SPR表面等离子体具有敏感的光谱和角度依赖,需要光谱测试系统具有宽泛的光谱测量波段,和精确的角度分辨能力。
  
  高集成度
  
  可满足多模式、全角度、宽谱段的角分辨光谱测试需求,具有超高性价比
  
  良好的扩展性
  
  适配多波段偏振器件、滤光片等光学元件,可加载旋转调节支架,方便调节
  
  自由调节样品台
  
  五维精密调节样品台,能够对样品实现各种维度的精确调节